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建立了一套直流溅射系统以及其它辅助装置，溅射参数控制，测量了腔的超导性能和铌膜的特性。
铜铌溅射超导四分之一波长谐振空的研究
【摘 要】
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建立了一套直流溅射系统以及其它辅助装置，溅射参数控制，测量了腔的超导性能和铌膜的特性。
【机 构】
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北京大学重离子物理研究所
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2000年1期
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