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阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一系列三维微结构,并实现了可动的三维微系统—齿轮轴系统的一次成型。
飞秒激光双光子复杂结构的微细加工
【摘 要】
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阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一系列三维微结构,并实现了可动的三维微系统
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系; 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 合肥230027; 合肥230027; 合肥230027中国科学院分子反应动力学国家重点实验
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2004年02期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(50275140);国家863计划资助项目(MEMS2003AA404-03)
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