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简要叙述了近年来固体薄膜制备技术,运用新技术进行薄膜样品的制备及性能的比较,主要介绍了目前应用较普遍的几种方法：如脉冲激光沉积法（PLD）、化学气相沉积法（CVD）、溶胶—凝胶法（Sol-Gel）等。
固体薄膜制备技术
【摘 要】
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简要叙述了近年来固体薄膜制备技术,运用新技术进行薄膜样品的制备及性能的比较,主要介绍了目前应用较普遍的几种方法：如脉冲激光沉积法（PLD）、化学气相沉积法（CVD）、溶胶—凝胶法
【机 构】
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陕西学前师范学院计算机与电子信息系
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2015年20期
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