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采用电子束沉积技术在石英玻璃、硅片基板上沉积了TiO2薄膜,利用热蒸发技术在TiO2薄膜表面沉积了不同厚度的Ag膜,研究了Ag膜厚度对TiO2薄膜结构、形貌、光学和光催化性能的影响。利用紫外-可见分光光度计(UV-VIS)、X射线衍射仪(XRD)、冷场发射电子显微镜(SEM)对沉积后的薄膜分别进行光学、结构、形貌分析。利用能谱仪测定了元素成分及含量。用光催化降解亚甲基橙(MO)的速率评价了合成的Ag-TiO2的光催化性能。结果表明:Ag纳米粒子在TiO2表面均匀分布;制备的Ag修饰多孔TiO2纳米薄膜具有