可在超纯水中检测到小于50nm颗粒的新技术

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最近,美国明尼苏达州的C.T.联合股份公司和特拉华州纽华克的W.L戈尔联合股份公司合作开发出一种新的粒度测量技术,用于检测过滤器对平均粒径12nm颗粒的固持效率。C.T.联合股份公司的科学家们开发了液体纳米粒子筛选器(LNS),来对半导体制造用超纯水中细微颗粒的过滤装置进行评估。粒度为10nm的颗粒可降低半导体制造过程的收率,并损害器件的可靠性。
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