【摘 要】
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阵列场发射阴极与真空微电子学是当前国际电子学领域的研究热点之一,发展迅速,某些先进电子物理装置内的真空不加热电子源也有相应发展.根据这一趋势,按真空电子发射学科的特
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京,华中师范大学物理系
【基金项目】
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国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)
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阵列场发射阴极与真空微电子学是当前国际电子学领域的研究热点之一,发展迅速,某些先进电子物理装置内的真空不加热电子源也有相应发展.根据这一趋势,按真空电子发射学科的特点,抓住其中研究与报道相对集中的阴极类型,进行了扼要的总结、归纳与评价;对近年来信息显示学科领域内已发展为实用的阵列等离子体电子源也进行了简单的介绍.
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