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在点阵光刻系统中引入光斑整形技术，依据成像系统的成像原理，将制作在透明掩膜版的任意形状物体成像在光刻面，以实现点阵刻蚀光斑的整形。实验结果表明，通过光斑整形后的图像刻蚀光栅亮度明显优于普通点阵刻蚀系统，光斑的任意整形也可对刻蚀图像进行某些特定的加密。
点阵全息图中的光斑整形与加密
【摘 要】
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在点阵光刻系统中引入光斑整形技术，依据成像系统的成像原理，将制作在透明掩膜版的任意形状物体成像在光刻面，以实现点阵刻蚀光斑的整形。实验结果表明，通过光斑整形后的图像刻蚀
【机 构】
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中国科学院广州电子技术研究所
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2011年5期
【基金项目】
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广州市越秀区科技攻关与成果推广计划基金资助项目(2009-GX-038)
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