【摘 要】
:
Silicon wafers (p-type) were etched under continuous flow of HF vapors in a reaction chamber at standard temperature and pressure. Etched surface of the silicon
【机 构】
:
FedralUrduUniversityofArts,Nikon,RiphaInternationalUniversity,RiphaInternationalUniversity
【出 处】
:
表面工程材料与先进技术期刊(英文)
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Silicon wafers (p-type) were etched under continuous flow of HF vapors in a reaction chamber at standard temperature and pressure. Etched surface of the silicon wafer was found emitting red luminescence when exposed to ultra violet (UV) light. XRD and Ato
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