【摘 要】
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本文采用自组装纳米球热压印技术,在旋涂有聚丙烯酸(PAA)薄膜、聚苯乙烯(PS)薄膜的基底上,旋涂SiO2纳米球溶液,通过自组装形成纳米球三维密排结构,接着进行热熔-沉陷处理,在P
【基金项目】
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广东省自然科学基金资助项目(2015A030311018,2017A030313035)
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本文采用自组装纳米球热压印技术,在旋涂有聚丙烯酸(PAA)薄膜、聚苯乙烯(PS)薄膜的基底上,旋涂SiO2纳米球溶液,通过自组装形成纳米球三维密排结构,接着进行热熔-沉陷处理,在PS薄膜形成周期性、六角密堆积纳米碗状阵列,接着利用PAA的水解特性去除PAA薄膜,将PS薄膜翻转并移至硅片基底上,通过氧离子刻蚀,得到纳米孔阵列掩模,最后结合电子束蒸发镀Al,制备出大面积、周期性的Al纳米盘阵列。同时也研究了三层膜结构的均匀性对制备大面积、周期性纳米盘阵列的重要性。基于自组装压印技术制备圆盘阵列的研究比传统纳米
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