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超声扫描检测技术应用越来越广泛，半导体、材料和生物医学等方面均利用了超声扫描技术。论文主要对超声扫描检测技术在半导体行业中的应用进行了简单的介绍，同时介绍了塑封微电路的超声扫描检测标准，并提供了一些数据以及建议作为参考。
超声扫描检测技术在半导体行业中的应用磁
【摘 要】
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超声扫描检测技术应用越来越广泛，半导体、材料和生物医学等方面均利用了超声扫描技术。论文主要对超声扫描检测技术在半导体行业中的应用进行了简单的介绍，同时介绍了塑封微电
【机 构】
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湖北航天技术研究院计量测试技术研究所 孝感 432000
【出 处】
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计算机与数字工程
【发表日期】
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2004年期
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塑封器件已经大量在工程中使用，需要使用非破坏性的声学扫描显微镜检查技术来有效剔除存在早期缺陷的塑封器件。塑封器件典型的缺陷包括分层、空洞、裂纹。论文描述了典型的三