【摘 要】
：
利用MEMS工艺制作了一种双层悬空结构的圆形片状微电感,并研究了其在S波段的性能.双层微电感的底层线圈制作在玻璃衬底平面上,外径为500μm,匝数为2,导线宽度70 μm,导线间距
论文部分内容阅读
利用MEMS工艺制作了一种双层悬空结构的圆形片状微电感,并研究了其在S波段的性能.双层微电感的底层线圈制作在玻璃衬底平面上,外径为500μm,匝数为2,导线宽度70 μm,导线间距15 μm,顶层线圈的悬空高度为20 μm,顶层线圈的匝数为1.5,其它结构参数与底层线圈相同.研究表明,所制作的双层结构微电感在2 GHz～4 GHz时其电感量达到2.2 nH,其品质因数达到22.在制作过程中首次引入的光刻胶抛光工艺大大简化了微电感的制作过程.
其他文献
<自动喷水灭火系统设计规范>(GB50084-2001)(以下简称"喷规"),自2001年7月1日起施行.根据"喷规"的要求,地下车库为中危险级Ⅱ级,设计喷水强度为8 L/(min*m2),保护面积为160 m
在许多高技术领域需要超精密工作台作为其技术支持.就电磁式工作台、直线电机式工作台、压电式工作台、摩擦驱动式工作台、MEMS工作台和其它类型工作台的原理、性能和应用作
结合<自动喷水灭火系统设计规范>(GB50084-2001),对系统设计中的几个问题,如经济流速、消防水箱及增压、喷头布置和水力计算等,提出了个人观点和看法.
经过严格论证,提出一种计算简便,易于软件实现的电子束束斑直径定义方法,在此基础上运用Monte Carlo方法对高斯分布电子束斑进行模拟,给出模拟电子数分别为5000、20000、5000
采用分子动力学三维模型研究单晶硅纳米切削机理，工件原子间相互作用力和工件与刀具原子间相互作用力分别采用Tersoff势和Morse势计算。通过切削过程中瞬间原子图像、能量和切
水信息学是一门崭新的学科 ,它是信息技术与传统水环境科技相结合的产物 ,其研究和应用领域广泛 ,内容丰富。从计算模型、决策支持系统、人工智能、地理信息系统和软件工程 5个方面简要阐述了信息技术对水环境科技所带来的巨大作用。