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还原氧化石墨烯是一种宏量制备石墨烯的有效方法，目前报道的还原方法包括物理和化学的方法，都存在各种各样的问题，比如危害环境，不兼容低温工艺等。本文提出了一种低温氧化石墨烯还原的方法。利用氢等离子体和氧化石墨烯反应，去除含氧官能团，实现还原氧化石墨烯。经过氢等离子体还原后，表征各个含氧官能团的吸收峰强度下降或者消失， Raman光谱上D峰强度的增加，都证实氧化石墨烯被还原。还原后薄膜电阻降低，确认了该方法的可行性。