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描述ZAO（ZnO∶Al）薄膜的晶体结构,论述ZAO薄膜的光学、电学性质与其结构的关系,介绍了掺铝氧化锌ZAO薄膜的各种制备方法,并总结了ZAO薄膜在各种领域中的应用.提出了薄膜材料研究的关键问题以及今后的发展方向.
掺铝氧化锌ZAO（ZnO∶Al）薄膜研究
【摘 要】
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描述ZAO（ZnO∶Al）薄膜的晶体结构,论述ZAO薄膜的光学、电学性质与其结构的关系,介绍了掺铝氧化锌ZAO薄膜的各种制备方法,并总结了ZAO薄膜在各种领域中的应用.提出了薄膜材料研
【机 构】
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安徽大学化学化工学院
【出 处】
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安徽大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2007年5期
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