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针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法.该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广.
一种高分辨力电镜放大倍率的校准方法
【摘 要】
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针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法.该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广.
【机 构】
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扬州大学物理科学与技术学院,复旦大学国家微分析中心,上海市计量测试技术研究所
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2005年11期
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