论文部分内容阅读
通过射频磁控溅射方法，在柔性PET衬底上低温沉积电致变色WOx薄膜。利用X射线衍射（XRD）、紫外-可见光分光光度计、X射线光电子能谱（XPS）分析所制备薄膜的微观结构、透光率、O元素的结合状态。结果表明，各氧分量下制备的WOx薄膜均为非晶态；氧分量0时制备的薄膜着、退色态透光率变化范围达到25％左右，具有较好的电致变色性能；XPS分析表明氧分量8％时氧空位含量最低，随着氧分量的继续增大，氧空位含量也增大。