中红外光参变振荡器在高反射率测量中的应用

来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zzx_520360

【摘要】

：

根据光腔衰荡光谱技术(CRDS)原理,使用中红外光参变振荡器(OPO)为光源建立了直腔与折叠腔相结合的中红外波段3.6 μm 反射率测量实验装置,用于研究中红外波段的高反射膜反射率,测试精度为10-4。使用直型衰荡光腔测试了三对不同薄膜材料设计镀制的高反射腔镜的反射率,并选择了一对腔镜用于实验装置中。采用该装置精确测试了不同薄膜材料镀制的高反射膜的反射率,包括YbF3/ZnS,YbF3 /ZnSe多层膜,以及由银加保护膜镀制的反射镜。研究表明,中红外波段介质膜的反射率可达到R

【作者】

：

高丽峰熊胜明黄伟孔明东

【机构】

：

中国科学院光电技术研究所,四川成都610209

【出处】

：

光学学报

【发表日期】

：

2008年28期

【关键词】

：

薄膜反射率光腔衰荡光谱技术(CRDS) 检测 thin films reflectivity cavity ring-down spectroscopy d

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