NiFeSiMnMo/Cu/NiFeSiMnMo多层膜结构中磁性层厚度对巨磁阻抗效应的影响

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【摘要】

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在康宁玻璃上用真空蒸镀法沉积NiFeSiMnMo/Cu/NiFeSiMnMo多层膜,对所沉积单层膜的软磁性能随膜厚的变化和多层膜的巨磁阻抗效应随磁性层（NiFeSiMnMo）厚度的变化进行分析.实验结

【作者】

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孙智勇赵志明郑鹉王艾玲姜宏伟

【机构】

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西安工业大学数理系,西安理工大学材料学院,首都师范大学物理系

【出处】

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金属功能材料

【发表日期】

：

2007年3期

【关键词】

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巨磁阻抗坡莫合金多层膜 giant magnetoimpedance permalloys multilayers

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在康宁玻璃上用真空蒸镀法沉积NiFeSiMnMo/Cu/NiFeSiMnMo多层膜,对所沉积单层膜的软磁性能随膜厚的变化和多层膜的巨磁阻抗效应随磁性层（NiFeSiMnMo）厚度的变化进行分析.实验结果表明：NiFeSiMnMo单层膜随厚度的增加,矫顽力增大,软磁性能变差;退火后的多层膜的纵向巨磁阻抗比（GMI ratio）的最大值随磁性层NiFeSiMnMo的厚度增加而增加.

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