【摘 要】
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硅压力传感器具有小型和高灵敏度的优点。近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到1kPa。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用。本文介绍了作者首先提出的
【机 构】
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硅压力传感器具有小型和高灵敏度的优点。近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到1kPa。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用。本文介绍了作者首先提出的适用于微压压力传感器的梁膜（岛）结构以及以后几年来出现的相近的结构。用这些结构都已制成全程为1kPa的压力传感器。
Silicon pressure sensors have the advantages of small size and high sensitivity. In recent years, small high-sensitivity pressure sensor range has been low to 1kPa. In this development process, the improvement of the structure of silicon elastomer plays a great role. This paper presents the structure of the beam membrane (island) first proposed by the author for micro pressure sensors and the similar structure that appears in the following years. With these structures have been made full pressure sensor 1kPa.
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