【摘 要】
:
集成电路制造中的光刻技术简而言之是将设计的图形转移到晶圆表面的技术.作为集成电路的制造工艺中的核心环节,随着线宽尺寸的减小,对于精度的要求也随之提高,相应地对光刻机
论文部分内容阅读
集成电路制造中的光刻技术简而言之是将设计的图形转移到晶圆表面的技术.作为集成电路的制造工艺中的核心环节,随着线宽尺寸的减小,对于精度的要求也随之提高,相应地对光刻机的设计技术的要求也越来越高.从光刻技术角度而言,照明条件主要是数值孔径(Numerical Aperture,后面简称N.A.)和sigma,对于分辨率resolution和景深DOF(depth of focus)都起到了至关重要的影响,也是衡量一个光刻机性能的重要依据.步进扫描式光刻机作为目前半导体光刻技术发展的主流,光刻机生产厂家根据自身设备的特性,在照明条件的控制上也有其不同的造诣,这一点主要通过光刻机的照明系统(即illumination)和投影透镜系统(Lens),来实现对照明条件的控制.对于现在市面上两大主力的光刻机生产厂商ASML和Nikon来说,通过对照明条件的精确控制是实现分辨率和景深突破的重要关键.在本文中将举例介绍Nikon S206D和ASML PAS 550-800光刻机的照明条件的精确控制,使其在基于NIKON OPC掩膜板上,完成对同一产品上数值孔径匹配的技术.通过这种技术以满足晶圆光刻工艺上可能出现的生产效率问题,解决因为生产线光刻机工作负荷时的产能分配和利用率提高的问题.
其他文献
中国市公共体育场馆采用的管理模式正朝着多样化的方向发展,但大部分场馆仍采用事业单位或行政单位的会计制度和财务管理体制,财务管理模式仍不完善.EDS有待进一步提高.为探
目的 研究RhoC(ras homolog gene family,member C)基因对胆管癌QBC939细胞株增殖和侵袭能力的影响.方法 以脂质体将RhoC cDNA真核表达载体转染人胆管癌QBC939细胞.应用克隆
电力营销是电力企业运营的重要环节,由于电力市场的不断变化,电力营销应当将客户需求作为核心,在电力营销中,电费是控制电量的重要手段,是电力营销日常工作中最为复杂、也是
短期融资券是企业债券融资的重要方式,但已有文献对其发现利率的研究不够全面,还往往忽略了我国“强政府、弱市场”的实际情况.本文以2010年1月~2016年5月4825只短期融资券为
近年来,流服务业发展非常迅速,其地位也得到了很大提升.对于工商企业来说,物流已经成为其第三利润源泉;对于运输业和代理业来说,如不及时向物流服务方向转变则意味着衰退甚至
随着中国城市化进程的不断加快,城市人口逐渐增多,居民出行量加大,使城市交通面临巨大的压力.今年来我国各大城市都致力于交通问题的治理,对城市综合交通系统进行改造、建设
近年来中国房价持续高涨,引起了社会各界的广泛关注.通过收集对成都市房价及其影响因素的历史数据进行收集和整理,分析成都市房价影响因素及未来走势,利用逐步回归建立预测模
目的 通过复方丹参静脉滴注和清胰汤保留灌汤与善宁在治疗重症急性胰腺炎(SAP)疗效及卫生经济学价值的比较,探讨非手术治疗SAP的有效且价廉的方法.方法 62名患者随机分为治疗
目的 探讨胰十二指肠切除术(PD)不同胰肠吻合方式对胰漏发生的影响.方法 回顾2002年2月至2007年5月154例行胰十二指肠切除术病例,分别采取胰肠套埋单层吻合105例,双层吻合49
随着IETM(Interactive Electronic Technical Manuals)系统的广泛应用,IETM的创作平台成为当前研究的重要课题.以IETM管理系统的研制为背景,介绍了IETM管理系统创作的技术方