【摘 要】
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本文介绍一种新的高压硅pn结表面电场的测试方法,即激光探针法,对该测试法的装置与测试原理以及在研究高压pn硅结表面中的应用做了介绍,并对实验结果进行了讨论.
This artic
【机 构】
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陕西机械学院自动控制系半导体器件教研室
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本文介绍一种新的高压硅pn结表面电场的测试方法,即激光探针法,对该测试法的装置与测试原理以及在研究高压pn硅结表面中的应用做了介绍,并对实验结果进行了讨论.
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