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激光微加工系统及其控制单元的研究

来源 :电子技术应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jy02132679

【摘 要】

：

针对纳秒脉冲激光微加工系统的发展,提出了一种集成图形文件解析和高速运动控制的加工系统,包括控制单元、激光器、机械结构和光路系统.在介绍了各个部分的功能之后,重点分析

【作 者】

：

邬泳 傅星 刘春阳 孙凤呜 胡小唐 

【机 构】

：

天津大学

【出 处】

：

电子技术应用

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

控制系统 DSP FPGA 图形解析 微加工系统 control system DSP FPGA resolving graphics micro fabric 

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针对纳秒脉冲激光微加工系统的发展,提出了一种集成图形文件解析和高速运动控制的加工系统,包括控制单元、激光器、机械结构和光路系统.在介绍了各个部分的功能之后,重点分析了控制单元,包括上位机图形解析平台及以DSP和FPGA为核心的下位机控制硬件.通过实验分析和算法优化,解决了加工误差,在单晶硅表面得到了较好的微结构加工效果.

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