【摘 要】
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研制了反射式光电编码器.介绍了光栅自成像原理,完善了高密度基准光栅的制作工艺,研制完成了32768刻线对光栅和高集成度光电读数头,最后制成了反射式高精度光电编码器.该编码
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【基金项目】
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中国科学院知识创新工程领域前沿项目资助
论文部分内容阅读
研制了反射式光电编码器.介绍了光栅自成像原理,完善了高密度基准光栅的制作工艺,研制完成了32768刻线对光栅和高集成度光电读数头,最后制成了反射式高精度光电编码器.该编码器采用多参考点编码方式,加快和简化了确定基准零点的操作,初始化转动最大5.625°即可确定基准零点.采用自准直光管和23面棱体检测了编码器的测角精度,其单边读数头均方根误差为1.11″,对径双读数头均方根误差为0.75″;反射式读数使光栅与读数头间隙提高10倍达到2.0 mm.结果表明,研制成功的高精度反射式光电编码器结构简单,
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