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研究了石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺。在氮化硅浆料中加入一定量固体和液体粘结剂,使氮化硅粉强有力地吸附在坩埚内壁,喷涂完成后在70～80℃保温2h直接装入硅料,免去了传统涂层制备工艺中坩埚需在1050℃温度下烧结6～7h的工艺过程。此工艺可缩短晶锭的生产周期,提高生产效率,降低生产成本。
多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺研究
【摘 要】
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研究了石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺。在氮化硅浆料中加入一定量固体和液体粘结剂,使氮化硅粉强有力地吸附在坩埚内壁,喷涂完成后在70～80℃保温2h直接装入硅料,免去了传统涂
【机 构】
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南昌航空大学航空制造工程学院,
【出 处】
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特种铸造及有色合金
【发表日期】
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2013年02期
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