【摘 要】
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本文比较详细地探讨了现今应用很广的几种扩散硅压力传感器的结构及封装工艺,提出了全固态隔离膜片结构的基本封装形式,并对传感器结构设计和封装时必须注意的问题和基本参数
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所 沈阳市 110043,沈阳市 110043,沈阳市 110043
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本文比较详细地探讨了现今应用很广的几种扩散硅压力传感器的结构及封装工艺,提出了全固态隔离膜片结构的基本封装形式,并对传感器结构设计和封装时必须注意的问题和基本参数进行了探讨。
This paper discusses in more detail the structure and packaging process of several diffused silicon pressure sensors, which are widely used today, and presents the basic packaging of all-solid-state isolating diaphragm structure. The problems and basic points that must be paid attention to when designing and packaging the sensor structure The parameters were discussed.
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