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论述了精密加工和超精密加工技术的范畴，加工方法，系统结构及其在先进制造技术中的作用和地位；分析了２１世纪初期对它的需求和技术发展趋势，并提出了相应的技术发展前沿，归总了技术发展特点。
精密加工和超精密加工技术综述
【摘 要】
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论述了精密加工和超精密加工技术的范畴，加工方法，系统结构及其在先进制造技术中的作用和地位；分析了２１世纪初期对它的需求和技术发展趋势，并提出了相应的技术发展前沿，归总了技术发
【机 构】
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清华大学,100084
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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1999年5期
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