【摘 要】
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在 4.66e V的激光激发下 ,在室温下 LPCVD氮化硅薄膜可发射高强度可见光 ,其峰位位置分别为 2 .97,2 .77,2 .55,2 .32 ,2 .1 0和 1 .90 e V的 6个 PL峰 ,建立了可见光发射的
【机 构】
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在 4.66e V的激光激发下 ,在室温下 LPCVD氮化硅薄膜可发射高强度可见光 ,其峰位位置分别为 2 .97,2 .77,2 .55,2 .32 ,2 .1 0和 1 .90 e V的 6个 PL峰 ,建立了可见光发射的能隙态模型 ,讨论了发光机制
Under 4.66eV laser excitation, LPCVD silicon nitride films can emit high intensity visible light at room temperature with peak positions of 2.97, 2.77, 2.55, 2.32, 2.01 and 1 .90 e V 6 PL peaks, established a visible light emission energy gap model, discusses the light-emitting mechanism
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