【摘 要】
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用离子注入结合离子交换技术形成了 KTiOPO4 平面光波导，研究了离子注入对离子交换波导结构的影响.使用棱镜耦合法测量了波导特性，结果显示形成了表面折射率升高的多模波导，通过背散射技术研究了离子交换后的 Rb 离子分布.实验表明，注入离子导致样品晶格损伤，在 2.8 μm处对离子交换形成了阻挡层，阻止了交换向KTP晶体的更深处进行.
【机 构】
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山东大学信息科学与工程学院,济南250100
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用离子注入结合离子交换技术形成了 KTiOPO4 平面光波导，研究了离子注入对离子交换波导结构的影响.使用棱镜耦合法测量了波导特性，结果显示形成了表面折射率升高的多模波导，通过背散射技术研究了离子交换后的 Rb 离子分布.实验表明，注入离子导致样品晶格损伤，在 2.8 μm处对离子交换形成了阻挡层，阻止了交换向KTP晶体的更深处进行.
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