【摘 要】
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NEC开发了非破坏性的检查由电迁移和应力迁移造成的布线过程中产生的缺陷（空隙：Void）的新方法（OBIRCH：OpticalBeamInducedResistanceCHange，光束加热电阻变化检查法）。OBIRCH法是：采
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NEC开发了非破坏性的检查由电迁移和应力迁移造成的布线过程中产生的缺陷（空隙：Void）的新方法（OBIRCH：OpticalBeamInducedResistanceCHange，光束加热电阻变化检查法）。OBIRCH法是：采用激光束加热使布线电阻发生变化，其变化程度根据有无缺陷及其大小而不同；利用这一点
NEC has developed a new, non-destructive method for inspecting the defects (voids: Voids) created during routing due to electromigration and stress migration (OBIRCH: OpticalBeam Induced Resistance Change). OBIRCH method is: using laser beam heating so that the wiring resistance changes, the degree of change according to whether the defect and its size and different; use this
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