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＜正＞近年来,用湿法化学腐蚀制作腐蚀面GaAs激光器和集成光路,受到了相当重视.我们用化学腐蚀法成功地实现了GaAs基片上激光器和探测器的集成.激光器与探测器相距250微米.
砷化镓单片集成光路的制造
【摘 要】
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＜正＞近年来,用湿法化学腐蚀制作腐蚀面GaAs激光器和集成光路,受到了相当重视.我们用化学腐蚀法成功地实现了GaAs基片上激光器和探测器的集成.激光器与探测器相距250微米.
【出 处】
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激光
【发表日期】
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1980年Z1期
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