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期刊论文
纳米电子技术
纳米电子技术
来源 :电子科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:june_jt
【摘 要】
:
近十多年来,随着微电子技术和功能材料技术的进展,一门新的技术科学--纳米技术应运而生,并且正在派生出纳米功能材料学、纳米电子学、纳米生物学、纳米机械学、纳米显微学、纳米
【作 者】
:
俞广浒
【出 处】
:
电子科技
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
纳米电子技术
微电子
功能材料
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近十多年来,随着微电子技术和功能材料技术的进展,一门新的技术科学--纳米技术应运而生,并且正在派生出纳米功能材料学、纳米电子学、纳米生物学、纳米机械学、纳米显微学、纳米化学、纳米物理学和纳米测量学等。
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