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近十多年来，随着微电子技术和功能材料技术的进展，一门新的技术科学--纳米技术应运而生，并且正在派生出纳米功能材料学、纳米电子学、纳米生物学、纳米机械学、纳米显微学、纳米化学、纳米物理学和纳米测量学等。
纳米电子技术
【摘 要】
：
近十多年来，随着微电子技术和功能材料技术的进展，一门新的技术科学--纳米技术应运而生，并且正在派生出纳米功能材料学、纳米电子学、纳米生物学、纳米机械学、纳米显微学、纳米
【出 处】
：
电子科技
【发表日期】
：
2001年2期
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