【摘 要】
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目的 建立无托槽隐形矫治微型测力实验平台,以测量矫治过程中牙齿的应力.方法 开发基于硅衬底的应力传感器芯片,随后进行芯片减薄,并采用四点弯曲结构进行压阻系数标定,使用
【机 构】
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首都医科大学口腔医学院正畸科,清华大学微电子系
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目的 建立无托槽隐形矫治微型测力实验平台,以测量矫治过程中牙齿的应力.方法 开发基于硅衬底的应力传感器芯片,随后进行芯片减薄,并采用四点弯曲结构进行压阻系数标定,使用超薄的柔性电路板封装传感器芯片,引出信号,搭建完整的隐形矫治应力测量实验平台.结果 制造完成的应力传感器芯片长7.0 mm、宽6.0 mm、厚0.1mm,其上包括13个注入制造的单晶硅压阻应力敏感单元和4个标定单元；设计制造了基于多路选择电路的主测试电路板,搭建了完整的隐形矫治应力测量实验平台,通过压阻阻值的测量计算出13个测量单元位置所在的应力.结论 建立了无托槽隐形矫治微型测力系统的实验平台,为精确测量矫治过程中牙齿的局部应力提供了方法.
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