电子背散射衍射试样的制备技术

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电子背散射衍射试样的制备质量对其成像效果有重要的影响。电子背散射衍射试样的制备方法已由传统的机械抛光、机械-化学抛光和电解抛光发展到离子减薄、聚焦离子束和最新的截面抛光等。介绍了工业纯铁和PbTiO3微米粉末电子背散射衍射试样的制备方法。
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