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采用激光干涉原理，ＣＣＤ摄像，计算机处理技术实现快速测量薄膜应力
Using laser interferometry, CCD camera, computer processing technology to quickly measure the film stress
薄膜应力快速测量系统的研制
【摘 要】
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采用激光干涉原理，ＣＣＤ摄像，计算机处理技术实现快速测量薄膜应力
Using laser interferometry, CCD camera, computer processing technology to quickly measure the film stres
【机 构】
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南昌大学物理学系,江西师范大学
【出 处】
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南昌大学学报(理科版)
【发表日期】
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1997年02期
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