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分析了低温冷凝泵的工作原理和内部结构，并结合实际工作经验详细叙述了泵的维护和再生过程以及在电子束蒸发台上的应用。
低温冷凝泵的结构和维护
【摘 要】
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分析了低温冷凝泵的工作原理和内部结构，并结合实际工作经验详细叙述了泵的维护和再生过程以及在电子束蒸发台上的应用。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第55研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2002年4期
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