【摘 要】
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与金属有机化学蒸气沉积法相比,分子束外延法尽管有很多潜在的优点,但是直到最近,一直认为分子束外延法不适合生产以InGaN为基础的下一代光学数据存储用蓝—紫光激光二极管发
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与金属有机化学蒸气沉积法相比,分子束外延法尽管有很多潜在的优点,但是直到最近,一直认为分子束外延法不适合生产以InGaN为基础的下一代光学数据存储用蓝—紫光激光二极管发射器。现在,波兰华沙高压物理研究所的一个小组,用等离子体辅助分子束外延方法,成功地研制出408nm多量
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