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介绍了精确式视差法测量缺陷深度的原理,通过带缺陷试样的数字射线透照试验,结合CIVA软件仿真模拟,探究了该方法的可行性,分析了影响测量精度的因素。采用数字成像技术替代常规胶片成像技术,弥补了其检测效率低、测量困难、测量误差大等不足。同时引入了验证标记对测量结果进行准确验证,避免了因操作原因造成的定位误差。