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以CuCl2·2H2O和（NH2）2CS为前驱体,三乙醇胺为络合剂,利用化学浴沉积法于25℃到60℃务件下反应30min在玻璃衬底上沉积Cu2S薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、X射线光电子能谱仪（XPS）及紫外可见近红外分光光度计对样品的结构和光学特性进行研究。XRD结果显示所制备的薄膜为单斜晶相的Cu2S,且沉积温度为40℃时所得薄膜结晶度最好。与Cu2S本体相比,所制备的Cu2S薄膜带隙出现不同程度的蓝移。结果表明,沉积温度对薄膜的结晶度、表面形貌以及光学性质有很大的影响。