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针对飞切法加工的玻璃元件面形的评价，研究了小波变换在光学表面低频段和中频段误差的分析方法。采用小波分解变换方法将波前信号的多频率成分分离，选取小波基bior2.8，有效地提取出元件的面形信息，同时将所需的中频段信息与占主成分的低频信息分离，得到中频段的特征频率为0.18 mm−1。该方法避免了频域滤波法所导致的幅频特性失真的问题，且可以更好地分析波前信号的细节和频率特性。