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微机电系统（MEMS）是从硅蚀刻出来的微型组件。它的产生过程是相当复杂的，甚至有时拥有成百上千个步骤，而且每一个步骤都需要许多的参数。一项欧洲计划已开发出一种新型软件，它能够测试、模拟、追踪和分享新生产程序。这种软件还能减少研发时间并为创新微机电系统设计铺平道路。
新软件为创新微型电动机械系统服务
【摘 要】
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微机电系统（MEMS）是从硅蚀刻出来的微型组件。它的产生过程是相当复杂的，甚至有时拥有成百上千个步骤，而且每一个步骤都需要许多的参数。一项欧洲计划已开发出一种新型软件，它能够
【出 处】
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光学精密机械
【发表日期】
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2007年3期
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