新软件为创新微型电动机械系统服务

来源 :光学精密机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户:JoanFang
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微机电系统(MEMS)是从硅蚀刻出来的微型组件。它的产生过程是相当复杂的,甚至有时拥有成百上千个步骤,而且每一个步骤都需要许多的参数。一项欧洲计划已开发出一种新型软件,它能够测试、模拟、追踪和分享新生产程序。这种软件还能减少研发时间并为创新微机电系统设计铺平道路。
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