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研究了制备工艺与热处理对TiO2薄膜光响应的影响。用直流反应磁控溅射法在玻璃基片上制备TiO2薄膜，并分别在400℃与600℃下进行热处理，应用XRD、SEM、UV—Vis等分析方法对其进行表征。实验结果表明较高的温度与适当的氧分压可以提高薄膜的结晶度，随着温度的升高，薄膜晶粒粒径增大，其可见光透过率有所降低，而使薄膜的吸收阈值向长波方向移动。