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介绍了在冷等离子体中粉体研究的几个重要成果，分析了粉体在两种反应室结构中的运动、沉降时间及刻蚀状况。理论分析和实验结果表明带振动阴极的反应室在粉体表面刻蚀方面比传统阴极结构的反应室要优越得多。研究表明冷等离子体对硅粉纯化具有应用前景。
冷等离子体中的粉体研究
【摘 要】
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介绍了在冷等离子体中粉体研究的几个重要成果，分析了粉体在两种反应室结构中的运动、沉降时间及刻蚀状况。理论分析和实验结果表明带振动阴极的反应室在粉体表面刻蚀方面比传
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2007年A10期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（10475029）
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