MOD法在不同种子层上制备La_（0.4）Sr_（0.6）TiO_3缓冲层的研究

来源 :东北大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yesyouok

【摘要】

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采用金属有机沉积法（MOD）在双轴织构的Ni-5%W基带上制备了La0.4Sr0.6TiO3,LaTiO3和SrTiO3三种种子层,然后再在种子层上沉积La0.4Sr0.6TiO3薄膜.SEM图像显示种子层颗粒分布均匀,

【作者】

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罗清威冉阿倩洪成哲樊占国

【机构】

：

东北大学材料与冶金学院,金策工业综合大学物理工程研究所

【出处】

：

东北大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2011年5期

【关键词】

：

MOD法种子层热处理 La0.4Sr0.6TiO3缓冲层 MOD method seed layer heat treatment La0.4Sr0.

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划项目（2008AA03Z202）, 中央高校基本科研业务费专项资金资助项目（N100602010）

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采用金属有机沉积法（MOD）在双轴织构的Ni-5%W基带上制备了La0.4Sr0.6TiO3,LaTiO3和SrTiO3三种种子层,然后再在种子层上沉积La0.4Sr0.6TiO3薄膜.SEM图像显示种子层颗粒分布均匀,大小基本一致.通过XRD和SEM研究了不同种子层对La0.4Sr0.6TiO3薄膜取向和表面形貌的影响.结果显示,在LaTiO3种子层上Ar-4%H2气氛下950℃制备的薄膜取向良好,表面光滑致密,无裂纹和孔洞出现.

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