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针对永磁直线电机伺服系统的高精度、高品质的控制要求,提出了基于加权积分增益滑模控制器与基于H∞控制的扰动补偿器相结合的控制方法。所提出的加权积分增益滑模控制器有效的解决了当系统在非滑动模态阶段时切换项增益增大的问题。H∞扰动补偿器不仅有效的保证了伺服系统的稳定性,而且抑制了滑模控制存在的高频抖振对控制系统输出的影响。通过仿真结果可以看出,所提出的控制方法使永磁直线电机伺服系统具有良好的动态性能,并具有对系统参数变化不敏感和鲁棒性强的优点。