微电机械系统

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2002010037用于显示的基于微电机械系统的干涉调制器=MEMS-basedinterferometricmodulatorfordisplayapplica-tions犤英犦/MilesMW∥Proc.SPIE.—1999.3876-20~282002010038微电机械系统毫米波无线电收发机的结构=MEMSmil-limeter 2002010037 MEMS-based interferometric modulator for display = MEMS-based interferometricmodulatorfordisplayapplica- tions 犤 英 犦 / MilesMW // Proc. SPIE. -1999.3876-20 ~ 282002010038 Structure of Millimeter Wave Radio Transceiver in MEMS = MEMSmil-limeter
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