【摘 要】
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对能动变形反射镜波面误差进行了理论分析和实验研究。在对能动变形反射镜波面误差进行理论分析和实验研究的基础上，利用有限元对37单元能动变形反射镜低频象差补偿能力进行了
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对能动变形反射镜波面误差进行了理论分析和实验研究。在对能动变形反射镜波面误差进行理论分析和实验研究的基础上，利用有限元对37单元能动变形反射镜低频象差补偿能力进行了相关的分析和计算，结合相关实验确定了能动变形反射镜的主要参数，成功研制出了曲率半径1926mm、口径300mm的37单元球面能动变形反射镜。经实验测定校正误差前、后镜面面形的PV值（波前峰谷差值）和RMS值分别为：0．545A、0．081A及0．239A、0．031A，从实测结果可以看到取得了明显的校正效果。并且在研制过程中对镜面加工、驱动器极
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