共光路移相单频激光干涉测长系统

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单频激光干涉系统采用偏振光移相方法,用来解决常规单频激光干涉仪中的光强“零漂”问题.共光路设计提高了干涉系统的测量稳定性和重复性.采用光程差放大技术提高了干涉系统的分辨力.在构造了一套实验布局的基础上,分析了影响系统测长精度的主要因素,并对干涉系统的测量误差分量做了定量的分析,完成了系统的精度测试.
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