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针对高精度直线电机驱动XY平台轮廓控制系统，将摩擦补偿与轮廓控制相结合，提高系统轮廓精度。设计基于LuGre模型的状态观测器及摩擦估计器以消除摩擦非线性对系统的影响，采用适于一般自由曲线轮廓控制的实时轮廓误差法建立系统轮廓误差模型与切向误差模型，结合观测状态，设计基于摩擦补偿的轮廓控制器。理论的分析和仿真结果表明，所设计控制系统能够提高XY平台的轮廓精度。