【摘 要】
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通过脉冲激光沉积系统沉积Al2O3薄膜层作为电极的防护层的声表面波温度传感器。在0~1300℃高温测试中,温度传感器的谐振频率随着温度的增加而减小。声表面波器件在1100℃环境
【机 构】
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仪器科学与动态测试教育部重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(U1837209)
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通过脉冲激光沉积系统沉积Al2O3薄膜层作为电极的防护层的声表面波温度传感器。在0~1300℃高温测试中,温度传感器的谐振频率随着温度的增加而减小。声表面波器件在1100℃环境下稳定工作了80 min,最后通过扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜的表面形貌,原子力显微镜(AFM)对传感器进行表面粗糙测定、颗粒度解析。根据这些结果,提出了一种可以明显延长高温下声表面波器件的Pt电极的寿命的方法。
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