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用溶胶-凝胶法在普通玻璃表面制备了薄膜型ZnO光催化剂,通过XRD、AFM、UV-VIS等测试技术对ZnO薄膜进行了表征;以偶氮胭脂红为降解物,考察了薄膜退火温度、镀膜层教、溶液初始质量浓度和反应体系初始pH值对ZnO薄膜光催化性能的影响,并进行了相关机理的探讨.研究表明:溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜呈透明状,薄膜表面均匀分布着球形ZnO晶粒;随着退火温度的升高,ZnO晶粒在17～30nm范围内逐渐增大.光催化实验中ZnO薄膜光催化降解偶氮胭脂红的最佳工艺条件是:退火温度为300℃,镀膜层数为5层,溶液初始pH值为8～9.