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作为硅微机械技术的替代，低成本的聚合物微制作变得越来越重要。在本研究中，开发了一种微模塑工艺，用以制作以聚合物为基底的平面线圈，将提高其可靠性，降低制造成本．双面密集微沟槽（100μm×70μm）阵列是线圈基底的一大特点，其初始图形用MEMS技术刻制在硅片上；利用PDMS良好的柔性、弹性和复型分辨率的特性制作了过渡模版，通过图形转移技术成功解决了刚性脱模难的问题．探索出了中温注射、低温固化、高温后固化的最佳模塑成型方法．通过电铸，制得了厚度为0．7mm、直径Ф20mm的平面微电机定子线圈．